遠古時期，古人從火中受到啟發，開始采用烤、灼、熏等方法治療一些疾病。
 

春秋戰國時期，形成了較為完整的灸法理論體系，長沙馬王堆漢墓出圖的帛書《足臂十一脈灸經》、《陰陽十一脈灸經》是中國比較早的中醫灸療及經脈學醫學典籍。

兩漢時期，灸法不斷發展。東漢初年的《黃帝明堂經》是我國第一部有成熟體系的針灸并重的穴位經典著作，奠定了艾灸選穴治療的基礎。東漢著名醫學家張仲景在其著作《傷寒雜病論》中提到灸法治療的條文有七條，重點論述了灸法的禁忌和某些疾病的灸治方法，他提出了“陽癥宜針，陰癥宜灸”的觀點。

三國兩晉南北朝時期，灸法已普遍運用到養生保健中，唐宋時期灸法已發展成一門學科，成為中醫九科之一。三國時曹翕所著《曹氏灸方》是我國比較早的灸療專著，集秦漢以來灸療經驗之大成，奠定了艾灸療法的發展基礎。東晉名醫葛洪善用灸法治療急癥，并首創隔鹽灸、隔蒜灸等隔物灸法。葛洪之妻鮑姑是我國針灸史上第一位女灸師。
 

唐朝時期，灸療專著大量出現，灸法發展成為一門獨立科學，并出現了施行灸法為業的專業灸師。唐代著名醫學家孫思邈在其著作《千金要方》中提出“非灸不精，灸足三里”、“若要安，三里常不安”，把艾灸與足三里穴相結合，提出施灸的關鍵穴位。
宋朝時期，針灸療法得到較大發展，而灸法也得到不斷重視。宋代著名針灸家王執中所撰《針灸資生經》，以灸法為主，記載了多種灸治之法和灸療經驗。南宋竇材在《扁鵲心書》中記載用“睡圣散”進行麻醉施灸，以減輕火灼給病人帶來的痛苦，同時利用有刺激性藥物貼敷穴位，為后世以藥代灸奠定了基礎。

明朝時針灸法發展到鼎盛時期，針灸名家輩出，專著相繼問世。出現了用艾絨加藥物的雷火神針，太已神針等新灸法，同時還出現了桑枝灸、神針火灸、燈火灸、陽燧灸等。李時珍在其專著《本草綱目》中記載：艾以葉入藥，性溫、味苦、無毒、純陽之性、通十二經、具回陽、理氣血、逐濕寒、止血安胎等功效，亦常用于針灸。
 

清代初期，灸法也有所創新。《神灸經論》是我國歷史上又一部灸療學專著，標志著我國灸療學發展的新高度。至清末，統治階級囿于封建禮教，廢止針灸，灸法同中醫、針刺法一樣，陷入有史以來的低谷。
 

經歷過清朝和民國的低谷期，新中國成立后，灸法煥發出新的生機，《中國針灸學》、《新針灸學》等針灸專著相繼問世，豐富了灸法內涵；利用現代科學實驗手段對艾灸的機制進行了大量醫學研究，取得了顯著成績。艾灸在養生保健、防病治病等方面的優勢日益突出，顯著療效已經得到整個社會的認可。